미국·일본 등 해외 업체로부터 전량 수입하던 반도체 세정 공정용 나노미터(㎚)급 필터의 첫 국산화가 이뤄졌다.
산업통상자원부는 필터 생산업체 시노펙스가 17일 경기도 화성 동탄 공장에서 신규 생산라인을 준공하고 나노급 필터 양산에 돌입한다고 밝혔다. 산업부는 이번 준공으로 나노급 필터 국내 수요의 100%(8000개)를 초과 충족할 수 있는 연간 1200억원 규모(1만개)의 생산 능력을 확보했다고 설명했다.
세정 공정용 나노급 필터는 반도체 세정용 화학 물질에서 불순물을 제거하는 핵심 부품으로, 그 성능은 반도체 수율에 직접적인 영향을 미친다. 반도체 선폭의 미세화 추세에 따라 초미세 오염 물질을 제거하는 세정 공정의 중요성도 부각되고 있는 상황이다.
시노펙스가 생산한 나노급 필터는 세정 장비 제조업체에 납품하며, 세정 장비는 향후 삼성, SK하이닉스 등에 공급될 예정이다.
이전까지 국내 세정 장비업체들은 공급망 리스크 완화를 위해 시노펙스에 기술 개발을 요청해왔다. 이에 시노펙스는 산업부로부터 2020년 이후 123억원을 지원 받아 기술 개발에 착수했다.